磷脂系列 
四甲基氢氧化铵五水合物，TMAH·5H2O
tetramethylammonium hydroxide pentahydrate
| 别称： | 氢氧化四甲铵 | ||
|---|---|---|---|
| CAS号： | 10424-65-4 | 产品货号： | XF0801010214 |
| 分子式： | C4H19NO5 | 溶解性： | 氯仿、DMF、甲醇 |
| 性状： | 白色或类白色结晶固体 | 纯度： | 95%+ |
| 储存条件： | -20°C，避光 | 保质期： | 1年 |
*本站全线产品仅供科研使用 |
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四甲基氢氧化铵五水合物，TMAH·5H2O
tetramethylammonium hydroxide pentahydrate
| 别称： | 氢氧化四甲铵 | ||
|---|---|---|---|
| CAS号： | 10424-65-4 | 产品货号： | XF0801010214 |
| 分子式： | C4H19NO5 | 溶解性： | 氯仿、DMF、甲醇 |
| 性状： | 白色或类白色结晶固体 | 纯度： | 95%+ |
| 储存条件： | -20°C，避光 | 保质期： | 1年 |
*本站全线产品仅供科研使用 |
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Tetramethylammonium hydroxide pentahydrate（TMAH·5H₂O）作为四甲基铵盐类化合物的重要成员，以强碱性、结构稳定性及高溶解性为核心特性，在微电子加工、有机合成等领域具有不可替代的应用价值。其分子结构由四个甲基连接中心氮原子形成季铵离子，与氢氧根离子通过离子键结合，并稳定配位五分子结晶水，固态呈现白色或类白色结晶状，具有强吸湿性与潮解性，需在空气中严格密封保存。 水合形态使其碱性较无水形式略弱，但仍显著高于常规无机碱，且具备优异的溶解性能，极易溶于水、甲醇、乙醇等极性溶剂，形成透明均一溶液并展现强电离能力。与NaOH、KOH等无机碱相比，TMAH·5H₂O的碱性更为柔和，且避免引入金属离子污染，这一特性使其在对金属敏感的高端制造场景中脱颖而出。 该化合物稳定性较高，常温储存条件下可保持较长有效期，但需严格避免光照、高温及CO₂接触，以防发生降解或碳酸化反应。在微电子工业中，其作为光刻显影液与硅刻蚀液的核心成分，在CMOS制备、MEMS雕刻等工艺中发挥关键作用，尤其在硅片刻蚀过程中表现出卓越的择向性，能够依据晶向形成规则台阶结构，广泛应用于微通道、微腔及微型器件的精密加工。 同时，TMAH·5H₂O在有机合成领域可用作相转移催化剂、脱保护试剂及季铵碱源，特别适用于金属污染不可接受的高端合成场景。其无金属离子残留、易清洗、反应可控等综合优势，使其成为材料化学、聚合物合成、纳米加工等领域的核心碱性试剂，推动相关产业的技术进步与产品精细化发展。
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